UBC-Zentrum für
Mikrosystemtechnik
Leitung
Prof. Dr. W. Lang
Tel.: 0421 / 218-62601
FAX: 0421 / 218-62570
E-Mail: wlang@ub-campus.de
Dienstleistungsangebot
|
Schwerpunkte
|
AusstattungZur Verfügung stehen eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme, die alle nach DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen betrieben werden. Verfügbar sind zwei große Klasse 6 (nach DIN EN ISO 14644-1) Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen:
|