UBC-Zentrum für
Mikrosystemtechnik
Leitung
Prof. Dr. Walter Lang
Tel.: 0421 / 218-62601
Fax: 0421 / 218-62570
E-Mail: wlang@ub-campus.de
UBC-Zentrum für Mikrosystemtechnik
Dienstleistungsangebot
- Beratung und Machbarkeitsstudien
- System- und Gerätesimulation
- Prozessentwicklung
- Fertigung von Prototypen
- Gerät- und Systemcharakterisierung
- Technologieübertragung
Schwerpunkte
- Strömungssensorik
- Sensorintegration
- Sensornetzwerke in der Logistik
- Mikrofluidische Komponenten und Sensoren
Ausstattung
Zur Verfügung stehen eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme, die alle nach DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen betrieben werden. Verfügbar sind zwei große Klasse 6 (nach DIN EN ISO 14644-1) Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen:
- Photolithographie
- Thermische Prozessierung
- Oxidation
- Diffusion
- Tempern - Abscheidungsprozesse
- Chemische Niederdruck
- Gasphasenabscheidung (LPCVD)
- Plasma-verbesserte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
- Sputtern
- Verdampfung
- Ätzen
- Nassätzen
- Reaktives Ionenätzen (RIE)
- Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)/
Advanced Silicon Etching (ASE)
- Ion Milling Etching - Galvanik
- Waferbonden
- Silizium-Direkt-Bonden (SDB)
- Anodisches Bonden
- Eutektisches Bonden
- Lötmittel Bonden
- Glas-Frit Bonden - Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP)
- Aufbau- und Verbindungstechnik
- Wafersägen
- Chipbonden
- Drahtbonden
- Dickschichttechnologie
- Leiterplattenfräsen (PCB) - Test und Charakterisierung
- Schichtdickenmessgeräte
- Stufenhöhenmessgerät
- Oberflächen-Profiler
- 3D-Messsystem
- Messgerät für Schichtspannungen
- 4-Punkt Widerstandmessgerät
- Rasterelektronenmikroskop (SEM)
- Röntgenfluoreszenz Spektrometer
- Druckmessstation
- Strömungsmessstation
- Gasmessstation
- Klimaschrank - Design und Simulation
- CoventorWare®
- LabVIEW®
- MATLAB®
- COMSOL Multiphysics®